沈陽高新區(qū)自主創(chuàng)新鍛造高端產(chǎn)業(yè)鏈
不詳 ?佚名 ? 2010年02月01日 ? ?科技園區(qū)
沈陽高新區(qū)：自主創(chuàng)新鍛造高端產(chǎn)業(yè)鏈
沈陽高新區(qū)作為國家五十余個(gè)高新技術(shù)開發(fā)區(qū)之一，自1988年開發(fā)建設(shè)以來，一手抓完善產(chǎn)業(yè)服務(wù)功能，一手抓增強(qiáng)自主創(chuàng)新能力，憑借其雄厚的技術(shù)和人才儲(chǔ)備，通過自主創(chuàng)新，鍛造了一系列高端技術(shù)領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)鏈。中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司通過引進(jìn)消化吸收，在研制出國內(nèi)第一臺(tái)IC裝備六英寸PECVD薄膜制備設(shè)備的基礎(chǔ)上，利用PECVD技術(shù)，2009年2月份又研制出了“平板式太陽能電池薄膜制備PECVD設(shè)備”。
“平板式太陽能電池薄膜制備PECVD設(shè)備”是太陽能電池的核心設(shè)備，目前，國內(nèi)該類設(shè)備全部依賴進(jìn)口，從而造成了太陽能電池生產(chǎn)成本居高不下。中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司憑借成熟的PEVCD技術(shù)，成功解決了該設(shè)備電極設(shè)計(jì)、加熱器設(shè)計(jì)、大面積進(jìn)氣均勻性等核心技術(shù)難題，并已申請(qǐng)三項(xiàng)國家專利。
據(jù)中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司光伏事業(yè)部部長趙崇凌介紹，該設(shè)備經(jīng)過2個(gè)月的工藝連續(xù)摸索，已經(jīng)達(dá)到了國際這類設(shè)備的同類水平，并正在國內(nèi)相關(guān)企業(yè)進(jìn)行試用。
此前，中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司利用PECVD技術(shù)，已研制出國內(nèi)首臺(tái)六英寸等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，此類設(shè)備也一直依賴進(jìn)口。該設(shè)備的核心軟件是由中科院博微自動(dòng)化研究所自行設(shè)計(jì)，自動(dòng)化控制硬件也是由該公司自己設(shè)計(jì)，在3700多個(gè)零部件中，70%都實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化，由于實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化，該設(shè)備的價(jià)格也由進(jìn)口的每臺(tái)120萬美元降到了每臺(tái)50萬美元。
據(jù)中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心主任雷震霖介紹，IC裝備制造專項(xiàng)PECVD設(shè)備，是我們的集成電路前道工序四大裝備里面的一個(gè)重要的設(shè)備，它的研制成功，已解決了我們國家IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一個(gè)重要瓶頸。
坐落于沈陽高新區(qū)的國家傳感器工程研究中心，是沈陽儀表科學(xué)研究院的一個(gè)下屬機(jī)構(gòu)，是我國唯一一家專門從事傳感技術(shù)工程化的研究中心。該中心通過完全的自主創(chuàng)新，不僅為國防、水、煤氣等公共領(lǐng)域生產(chǎn)出了各類傳感器，獲得了24項(xiàng)國家專利，而且擁有了4英寸芯片從研發(fā)、設(shè)計(jì)到檢測、封裝的能力，年生產(chǎn)能力已達(dá)100萬片，已經(jīng)建成了國內(nèi)唯一一條硅基傳感器的生產(chǎn)基地，產(chǎn)品已經(jīng)替代了包括日本、德國等很多國家的產(chǎn)品，特別是硅芯片的生產(chǎn)能力在國內(nèi)實(shí)現(xiàn)了百萬片以上。目前已自主研發(fā)出12英寸芯片自動(dòng)劃片裝備，填補(bǔ)了國內(nèi)空白。
沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司研制的8英寸涂膠顯影機(jī)得到廣泛的應(yīng)用后，又通過完全的自主創(chuàng)新，生產(chǎn)出了國內(nèi)首臺(tái)12英寸涂膠顯影機(jī)。12英寸涂膠顯影機(jī)不僅填補(bǔ)了國內(nèi)空白，打破了發(fā)達(dá)國家的技術(shù)封鎖，而且軟件和硬件全部實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化。在芯片生產(chǎn)過程中，晶圓片的傳輸系統(tǒng)也至關(guān)重要，富創(chuàng)得科技（沈陽）有限公司通過引進(jìn)美國成熟的技術(shù)，生產(chǎn)出了PLUS 500晶圓盒載入載出設(shè)備。此類產(chǎn)品主要應(yīng)用于200毫米晶圓盒的載入載出，是芯片生產(chǎn)線的必備設(shè)備。
沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司在企業(yè)內(nèi)部建立起三級(jí)研發(fā)體系，研發(fā)投入比例每年都超過總收入的10%，通過產(chǎn)學(xué)研的有效結(jié)合，已累計(jì)完成科技攻關(guān)項(xiàng)目600多項(xiàng)，其中國家及省級(jí)以上項(xiàng)目22項(xiàng)，目前，新松公司擁有60多項(xiàng)國家專利，開發(fā)出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的30余種新型工業(yè)機(jī)器人產(chǎn)品，打破了國外的技術(shù)封鎖和壟斷。公司又攻克了制約IC制造裝備快速發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)難題，在真空（潔凈）機(jī)器人方面的研究取得了重大突破，樣機(jī)已研制成功并逐漸推廣使用。公司研制的首臺(tái)集各種功能于一體的智能型服務(wù)機(jī)器人，不僅填補(bǔ)了國內(nèi)空白，各項(xiàng)指標(biāo)也已達(dá)到國際先進(jìn)水平。公司2007年被國家發(fā)改委評(píng)為“國家級(jí)企業(yè)技術(shù)中心”。公司的工業(yè)機(jī)器人系列產(chǎn)品也榮獲“中國名牌產(chǎn)品”稱號(hào)，是該行業(yè)內(nèi)唯一入選的企業(yè)。公司被科技部、國資委和全國總工會(huì)聯(lián)合認(rèn)定為國家創(chuàng)新型企業(yè)。
沈陽高新區(qū)IC裝備產(chǎn)業(yè)基地雖然起步晚，但是發(fā)展勢頭強(qiáng)勁，目前不僅擁有了半導(dǎo)體生產(chǎn)整機(jī)制造的能力，在零部件及軟件方面也形成了自己獨(dú)特的競爭能力。中科院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司研發(fā)的超潔凈真空獲得系統(tǒng)、羅茨干泵、超高真空氣動(dòng)閘板閥和半導(dǎo)體檢測設(shè)備；沈陽科晶設(shè)備制造有限公司生產(chǎn)的研磨設(shè)備；東北大學(xué)冶金技術(shù)研究所研制的納米合金鋼在國內(nèi)都是獨(dú)一無二的，而且都達(dá)到了國際先進(jìn)水平。
2009年初，在國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”項(xiàng)目推進(jìn)會(huì)上，沈陽高新區(qū)IC裝備產(chǎn)業(yè)基地內(nèi)4家企業(yè)5個(gè)IC裝備項(xiàng)目獲得了國家科技重大專項(xiàng)，獲得了3.55億元重大科技專項(xiàng)資金的支持。這些項(xiàng)目分別是：中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司承擔(dān)的“等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備研發(fā)與應(yīng)用”和“干泵與系列真空閥門產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”；沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司承擔(dān)的“凸點(diǎn)封裝涂膠顯影及單片濕法刻蝕設(shè)備的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”；沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司承擔(dān)的“IC裝備機(jī)械手及硅片傳輸系統(tǒng)系列產(chǎn)品研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”；沈陽中科博微自動(dòng)化技術(shù)有限公司承擔(dān)的“集束式控制平臺(tái)與軟件”項(xiàng)目。
這5個(gè)項(xiàng)目計(jì)劃到2012年末，完成所有研發(fā)并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。期間，將累計(jì)銷售等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備7臺(tái)、干泵與系列真空閥門產(chǎn)品500臺(tái)、凸點(diǎn)封裝涂膠顯影及單片濕法刻蝕設(shè)備8臺(tái)、IC裝備機(jī)械手及硅片傳輸系統(tǒng)系列產(chǎn)品200臺(tái)套、集束式控制平臺(tái)與軟件1000套。
經(jīng)過近幾年的發(fā)展，沈陽高新區(qū)IC裝備產(chǎn)業(yè)基地研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化方面都取得了長足的進(jìn)步，一個(gè)集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、加工、銷售于一體的IC裝備產(chǎn)業(yè)基地已進(jìn)入快速發(fā)展軌道，已被科技部認(rèn)定為國家高新區(qū)產(chǎn)業(yè)集群試點(diǎn)，是全國唯一的IC裝備集群試點(diǎn)。通過不斷的自主創(chuàng)新，已能夠生產(chǎn)IC成膜、勻膠顯影、劃片機(jī)等三類重要裝備，擁有一項(xiàng)IC裝備控制系統(tǒng)和一批關(guān)鍵零部件的配套能力，產(chǎn)業(yè)鏈條日趨完善，形成了國內(nèi)首家IC裝備產(chǎn)業(yè)集群全面發(fā)展的格局。目前，IC裝備產(chǎn)業(yè)在國內(nèi)已形成上海、北京、沈陽三足鼎立之勢。
沈陽高新區(qū)作為國內(nèi)數(shù)字醫(yī)療最重要的產(chǎn)業(yè)基地，近年來，逐步形成了以東軟集團(tuán)為龍頭，以長江源科技有限公司、新松維爾康醫(yī)療科技有限公司為骨干的產(chǎn)業(yè)集群，擁有多種具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高新技術(shù)產(chǎn)品。
2009年7月，東軟醫(yī)療系統(tǒng)有限公司自主研發(fā)的第一臺(tái)16層CT正式發(fā)往美國客戶，此舉不僅填補(bǔ)了中國在多層螺旋CT市場的空白，也標(biāo)志著東軟16層CT產(chǎn)品已經(jīng)成功進(jìn)入全球高端醫(yī)療市場。同時(shí)，由東軟醫(yī)療公司自主研發(fā)的第一臺(tái)PET機(jī)已成功獲得了美國FDA認(rèn)證，這是目前世界上最先進(jìn)的大型影像醫(yī)療診斷設(shè)備，整機(jī)部件國產(chǎn)化率已經(jīng)達(dá)到了90%以上，從而成為全球第4家高端醫(yī)療設(shè)備生產(chǎn)公司。東軟16層CT和1.5T磁共振成像系統(tǒng)，打破了我國這一領(lǐng)域被外資企業(yè)壟斷的局面。
對(duì)該新產(chǎn)品問世，東軟集團(tuán)董事長兼CEO劉積仁博士有個(gè)形象的比喻：“過去我們只能做‘捷達(dá)’，今天可以生產(chǎn)‘奧迪’了！”
長江源科技公司生產(chǎn)的高強(qiáng)度聚焦超聲刀系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了治療腫瘤不用開刀的目標(biāo)，擁有多項(xiàng)專利，是我國首創(chuàng)的醫(yī)療設(shè)備，國外尚無此類產(chǎn)品。
目前，沈陽高新區(qū)已擁有包括CT系列、MRI系列、X線系列、彩超系列、激光成像系列、放射治療系列、核醫(yī)學(xué)系列、臨床檢驗(yàn)系列、監(jiān)護(hù)系列、軟件系列、耗材系列，以及正在研發(fā)中的核醫(yī)學(xué)設(shè)備、醫(yī)用電子直線加速器和計(jì)算機(jī)輔助診斷（CAD）系統(tǒng)、無創(chuàng)呼吸機(jī)、胰島素泵等11大系列50余種產(chǎn)品，擁有5000余家客戶，產(chǎn)品不僅遍布全國30多個(gè)省、市、自治區(qū)，而且還遠(yuǎn)銷全球40多個(gè)國家和地區(qū)。
近兩年來，通過引進(jìn)、吸收、再創(chuàng)新，沈陽高新區(qū)的風(fēng)電裝備實(shí)現(xiàn)了快速發(fā)展。
2009年10月29日，沈陽能源集團(tuán)、美國可再生能源集團(tuán)與美國希艾羅風(fēng)能集團(tuán)在美國華盛頓國家新聞中心舉行成立合資企業(yè)及風(fēng)機(jī)采購協(xié)議簽字儀式，三方共同在美國得克薩斯州建立600兆瓦風(fēng)場，簽約額為15億美元。中方將向美方提供240臺(tái)2.5兆瓦容量的風(fēng)力發(fā)電機(jī)，這是中美兩國在清潔能源領(lǐng)域合作的最大項(xiàng)目，也是中國風(fēng)機(jī)出口的最大訂單。此舉標(biāo)志著沈陽高新區(qū)裝備制造業(yè)已經(jīng)步入世界先進(jìn)行列，沈陽將成為全球風(fēng)機(jī)生產(chǎn)中心。該工程項(xiàng)目位于美國得克薩斯州帕哈頓風(fēng)場，占地3.6萬英畝，總裝機(jī)容量為600兆瓦，是美國興建的第二大風(fēng)能項(xiàng)目，可滿足美國13.5萬到18萬家庭一年的用電量需求。沈陽能源集團(tuán)、美國可再生能源集團(tuán)與美國希艾羅風(fēng)能集團(tuán)三方共同出資4000萬美元成立合資企業(yè)，沈陽動(dòng)力集團(tuán)擁有49%的股份，其余股份由美國可再生能源與美國艾羅風(fēng)能集團(tuán)共同擁有。作為該項(xiàng)目的唯一供應(yīng)商，沈陽能源集團(tuán)負(fù)責(zé)生產(chǎn)240臺(tái)2.5兆瓦風(fēng)機(jī)，設(shè)備總?cè)萘繛?00兆瓦，此類風(fēng)機(jī)機(jī)型是目前世界上最大的風(fēng)機(jī)機(jī)型。德國弗蘭德公司和美國GE公司提供風(fēng)機(jī)技術(shù)和產(chǎn)品質(zhì)量保證。該項(xiàng)目預(yù)計(jì)2010年3月開始建設(shè)，將創(chuàng)造2800個(gè)就業(yè)崗位，其中15%出自美國，其它職位流向中國，沈陽將產(chǎn)生800個(gè)就業(yè)崗位。
該項(xiàng)目的成功簽署在美國各界引起轟動(dòng)，美聯(lián)社、路透社、彭博通訊社、美國之音、《華爾街日?qǐng)?bào)》、《華盛頓郵報(bào)》、《今日美國報(bào)》、《金融時(shí)報(bào)》以及新華社、鳳凰衛(wèi)視等21家世界主流媒體進(jìn)行了報(bào)道。
世界500強(qiáng)企業(yè)GE公司于2004年在渾南新區(qū)組建通用電氣能源（沈陽）有限公司，主要生產(chǎn)1.5兆瓦風(fēng)電機(jī)組，公司運(yùn)作伊始，就致力于關(guān)鍵零部件本土化。從2006年3月第一臺(tái)風(fēng)機(jī)組下線后，產(chǎn)品一直供不應(yīng)求，產(chǎn)值和產(chǎn)量每年都實(shí)現(xiàn)了成倍增長，零部件的本土化率已經(jīng)達(dá)到了90%以上。
目前，沈陽高新區(qū)擁有4個(gè)風(fēng)力發(fā)電項(xiàng)目，可生產(chǎn)從0.75兆瓦至2.7兆瓦全系列風(fēng)力發(fā)電機(jī)組，所有的風(fēng)力發(fā)電機(jī)組的生產(chǎn)國產(chǎn)化率都到達(dá)了70%以上。新區(qū)已成為我國重要的風(fēng)力發(fā)電設(shè)備制造基地之一。
近些年來，軟件外包及嵌入式軟件開發(fā)已經(jīng)成了沈陽高新區(qū)最重要的產(chǎn)業(yè)之一。2009年，面對(duì)全球性金融風(fēng)暴，當(dāng)國內(nèi)外大部分企業(yè)都覺得經(jīng)歷寒冬的時(shí)候，東軟集團(tuán)和沈陽昂立信息產(chǎn)業(yè)園的軟件企業(yè)卻覺得恰逢春日，加速了融入國際市場的步伐。
東軟集團(tuán)把2009年定為“新東軟元年”，因?yàn)?009年是東軟向“全球優(yōu)秀的IT解決方案與服務(wù)供應(yīng)商”這一戰(zhàn)略目標(biāo)挺進(jìn)的第一年。東軟認(rèn)為，軟件產(chǎn)業(yè)是一個(gè)黏合劑，越是經(jīng)濟(jì)不景氣的時(shí)候，各行各業(yè)越需要運(yùn)用軟件手段來改造、提升自身的管理和市場運(yùn)營，從而達(dá)到降低成本，提高產(chǎn)品市場占有率的目的。東軟加大了海外的投資力度，尤其是擴(kuò)大了在美國、日本的投資規(guī)模，通過與IBM、英特爾、SAP、東芝、飛利浦等國際知名公司的合作，通過自身的人才優(yōu)勢，加速規(guī)?；蛧H化進(jìn)程，并將原來的軟件開發(fā)外包升級(jí)到設(shè)計(jì)外包，進(jìn)一步擴(kuò)大在歐美市場的占有率。截至目前，東軟的國際業(yè)務(wù)比例已經(jīng)占到了總體業(yè)務(wù)的30%以上，占中國整個(gè)市場出口總額的7%，在美國、日本、印度、匈牙利等國家設(shè)立了6個(gè)分公司。
金融危機(jī)不僅讓東軟等一些國內(nèi)軟件企業(yè)加速走向了國外市場，也使得國外的知名軟件開發(fā)企業(yè)紛紛涌到沈陽，與沈陽當(dāng)?shù)氐钠髽I(yè)尋求合作。2009年，韓國第一軟件外包企業(yè)LG—CNS正式落戶渾南新區(qū)，以軟件技術(shù)研發(fā)以及韓國軟件外包業(yè)務(wù)為主，這是世界五百強(qiáng)企業(yè)在沈陽設(shè)立的第一個(gè)研發(fā)中心。隨后，Sun中國開放技術(shù)中心、德州儀器技術(shù)中心等先后落戶沈陽高新區(qū)，世界500強(qiáng)企業(yè)在新區(qū)設(shè)立的嵌入式系統(tǒng)技術(shù)中心達(dá)到10家。
目前，國家先進(jìn)制造技術(shù)研究與發(fā)展基地、國家機(jī)器人工程中心、國家自動(dòng)化工程中心、國家高檔數(shù)控工程中心、國家軟件工程中心、國家傳感元器件工程中心等8個(gè)國家級(jí)嵌入式系統(tǒng)中心都落戶在渾南新區(qū)，嵌入式數(shù)據(jù)庫、中間件、嵌入式Internet、移動(dòng)設(shè)備嵌入式開發(fā)平臺(tái)研究和產(chǎn)品開發(fā)方面均在國內(nèi)處于領(lǐng)先地位，并具有許多成熟產(chǎn)品。中科院自動(dòng)化所開發(fā)了汽車牌照自動(dòng)識(shí)別專用數(shù)碼相機(jī)系統(tǒng)，沈陽自動(dòng)化所還攻克了現(xiàn)場總線技術(shù)和以太網(wǎng)工業(yè)應(yīng)用技術(shù)，在嵌入式軟件開發(fā)、利用嵌入式芯片實(shí)現(xiàn)信號(hào)采集和處理方面積累了很多經(jīng)驗(yàn)。初步統(tǒng)計(jì)，渾南新區(qū)從事軟件開發(fā)的人才有30000人，軟件開發(fā)及外包服務(wù)的業(yè)務(wù)營業(yè)額已超70億元。
沈陽高新區(qū)為進(jìn)一步提高自主創(chuàng)新能力，增強(qiáng)內(nèi)生式發(fā)展動(dòng)力，僅2009年新區(qū)財(cái)政就拿出近3億元的科技發(fā)展專項(xiàng)資金，重點(diǎn)支持國家重大專項(xiàng)、省市重大項(xiàng)目和新區(qū)重點(diǎn)科技項(xiàng)目；依托高校、科研院所以及重點(diǎn)科技企業(yè)，相繼建立了各類國家技術(shù)研發(fā)中心、企業(yè)工程技術(shù)中心和重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。目前，新區(qū)已經(jīng)擁有計(jì)算機(jī)軟件國家工程研究中心、機(jī)器人技術(shù)國家工程研究中心、高檔數(shù)控國家工程研究中心等51家國家及省部級(jí)研發(fā)機(jī)構(gòu)；中科院金屬所、自動(dòng)化所、計(jì)算所、生態(tài)所、中科儀5個(gè)院所在區(qū)內(nèi)設(shè)立產(chǎn)業(yè)化基地。新區(qū)擁有高新技術(shù)企業(yè)70家，占沈陽市的半壁江山。目前，新區(qū)國內(nèi)先進(jìn)技術(shù)和產(chǎn)品已達(dá)184項(xiàng)，其中達(dá)到國際先進(jìn)水平的有115項(xiàng)。
沈陽高新區(qū)還規(guī)劃建設(shè)了從21世紀(jì)大廈至東軟集團(tuán)4公里長的科技研發(fā)孵化帶，創(chuàng)建了動(dòng)漫產(chǎn)業(yè)園、IC裝備制造園、軟件園、位置信息產(chǎn)業(yè)園、生物醫(yī)藥園、自動(dòng)化園等專業(yè)孵化器為核心的孵化器集群。目前，新區(qū)孵化器面積達(dá)到35萬平米，在孵企業(yè)450家，累計(jì)畢業(yè)企業(yè)達(dá)145家，其中35家實(shí)現(xiàn)購地建廠，2家企業(yè)實(shí)現(xiàn)上市；遼寧奧維通信、遼寧諾康生物、沈陽時(shí)尚電力等一批畢業(yè)企業(yè)正在成為新區(qū)科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的生力軍。
責(zé)編/劉 路
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