本發(fā)明涉及一種硅薄膜太陽(yáng)電池集成組件，它的結(jié)構(gòu)和制備技術(shù)，特別是具有氧化鋅(ZnO)背反射電極的硅薄膜太陽(yáng)電池集成組件及其制備技術(shù)。而ZnO背反射電極是硅薄膜太陽(yáng)電池陷光結(jié)構(gòu)的重要組成部分，可大幅提高電池效率。它涉及硅薄膜太陽(yáng)電池集成組件的關(guān)鍵工藝—子電池內(nèi)聯(lián)集成技術(shù)，屬于新型能源中薄膜太陽(yáng)電池的技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明采用掩膜蒸鍍金屬電極，結(jié)合濕法腐蝕ZnO的方法，實(shí)現(xiàn)具有ZnO背反射電極的硅薄膜太陽(yáng)電池子電池的內(nèi)聯(lián)集成技術(shù)，最終獲得硅薄膜太陽(yáng)電池集成組件。該制備方法簡(jiǎn)單、成品率高、成本低，有力展示硅薄膜太陽(yáng)電池低成本的優(yōu)勢(shì)。